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Wissenschaft

PiBond und PSI: Partnerschaft stärkt EUV-Lithografie

Das Paul Scherrer Institut PSI arbeitet mit dem finnischen Unternehmen PiBond an der kommerziellen Nutzung hoch entwickelter Halbleiterprodukte, die mittels EUV-Lithografie hergestellt wurden. PiBond ist ein Pionier in der EUV-Lithografie und führt nun eine vielversprechende Zusammenarbeit mit dem renommierten Institut PSI durch.

2024-03-28 10:25:03
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Quelle: Paul Scherrer Institut

Das Paul Scherrer Institut PSI arbeitet mit dem finnischen Unternehmen PiBond an der kommerziellen Nutzung hoch entwickelter Halbleiterprodukte, die mittels EUV-Lithografie hergestellt wurden.

PiBond - Pionier in der EUV-Lithografie

Die Lithografie ist ein Eckpfeiler der seit mehr als fünf Jahrzehnten anhaltenden, beispiellosen Fortschritte in der Halbleitertechnik und spielt eine entscheidende Rolle für die nächste Generation integrierter Halbleiterschaltungen. Das Verfahren gilt als Inbegriff der Ultrapräzisionsfertigung, insbesondere in ihrer fortschrittlichsten Form, der EUV-Lithografie. Sie leistet einen entscheidenden Beitrag zur Herstellung von Halbleiterchips, die nicht nur schneller, sondern auch energieeffizienter sind und die rasante Entwicklung der künstlichen Intelligenz vorantreiben.

Vereinbarung zur Vertiefung der Zusammenarbeit

Diese Entwicklung wird derzeit jedoch durch die Grenzen der lithografischen Werkstoffe behindert. PiBond nimmt bei der Bewältigung dieser Herausforderungen eine Spitzenposition ein. Um die Zusammenarbeit mit dem PSI und dessen Forschungsinfrastruktur weiter zu vertiefen, hat PiBond im Rahmen der Vereinbarung eine Tochtergesellschaft in der Schweiz gegründet (im Switzerland Innovation Park Innovaare). Darüber hinaus hat PiBond modernste Lithografietechnologien lizenziert, die auf den am PSI entwickelten Innovationen basieren, und will diese weiterentwickeln.

Wichtige Partnerschaft zwischen PiBond und PSI

Thomas Gädda, Chief Technology Officer von PiBond, betonte die Bedeutung der Kooperation: «Die nächste Generation von EUV-Scannern mit hoher numerischer Apertur von ASML wird derzeit von der Industrie eingebaut. Die von uns entwickelten Materialien, sowohl als Fotolack als auch als Unterschicht, haben Verbesserungen im EUV-Lithografieverfahren ergeben. Unsere Partnerschaft mit dem PSI, einem seit langem führenden Institut auf diesem Gebiet, ist wichtig. Diese Zusammenarbeit hat wesentlich zu unseren Fortschritten in der Material- und Prozessentwicklung für zukünftige Produktionsverfahren beigetragen, die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen der nächsten Generation erforderlich sind, und wird dies weiterhin tun.»

Stärkung der Entwicklungskapazitäten von PiBond

Die Vereinbarung stärkt nicht nur die Entwicklungskapazitäten von PiBond, sondern bringt auch den Wert eines erfolgreichen Technologietransfers von Forschungsergebnissen in die Industrie und den Markt zum Ausdruck. Sie zeigt das Engagement des Unternehmens für Innovation und seine Vorreiterrolle beim technologischen Fortschritt, wie Pasi Leinonen, leitender Direktor für Vertrieb und Marketing bei PiBond, betont.

Kontakt für Medienanfragen

Dr. Yasin Ekinci, Leiter des Labors Röntgen-Nanowissenschaften und Technologien am Paul Scherrer Institut in Villigen PSI, Schweiz, kann bei weiteren Fragen kontaktiert werden unter Tel: +41 56 310 28 24 oder per E-Mail: yasin.ekinci@psi.ch. Medienanfragen an PiBond werden von Pasi Leinonen, leitender Direktor für Vertrieb und Marketing, beantwortet. Er ist erreichbar unter Tel: +358 405094066 oder per E-Mail: pasi.leinonen@pibond.com.

(Quelle:Paul Scherrer Institut Bearbeitet mit ChatGPT)

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